激光技术

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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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激光诱导化学液相沉积Fe膜的研究

侯占杰, 唐星, 罗穆伟, 王振, 李运波, 朱玉斌

2016, 40(1): 136-140. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.01.030

关键词: 激光技术, 化学液相沉积, 副产物, 激光功率密度, 沉积层厚度, Fe(CO)5

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